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產(chǎn)品與服務(wù)

電子導(dǎo)電薄膜專用磁控濺射鍍膜線
電子導(dǎo)電薄膜磁控濺射真鍍機(jī)

1.外觀尺寸:4200mm (L)χ1700mm (W)χ1950mm (H)
2.進(jìn)料區(qū):可放置625mmχ505 mm料盤二十盤,一盤Max 35個(gè)治具,一次入料Max可達(dá)700個(gè)治具,自動(dòng)送料盤結(jié)構(gòu)配置一個(gè)KY- 400高真空分子泵或10 FCryo pump及採(cǎi)用Rotary                   pump + Booster之低真空pump組合,抽氣速率可達(dá)10000 L/hr
 

1.外觀尺寸:4200mm (L)χ1700mm (W)χ1950mm (H)
2.進(jìn)料區(qū):可放置625mmχ505 mm料盤二十盤,一盤Max 35個(gè)治具,一次入料Max可達(dá)700個(gè)治具,自動(dòng)送料盤結(jié)構(gòu)配置一個(gè)KY- 400高真空分子泵或10 FCryo pump及採(cǎi)用Rotary pump + Booster之低真空pump組合,抽氣速率可達(dá)10000 L/hr
3.鍍膜製程區(qū):本區(qū)域設(shè)計(jì)共8個(gè)濺射陰極,採(cǎi)用上方四個(gè)、下方四個(gè),並以左右對(duì)稱之方式設(shè)計(jì),配置一個(gè)10FCryo pump,前後     各配置一個(gè)(共兩個(gè))方形閘閥,使入料及出料可保持真空。
4.出料區(qū):二十盤料盤,Max700個(gè)治具,一次出料自動(dòng)收料機(jī)構(gòu)。
5.電控裝置區(qū):採(cǎi)用日本三菱PLC,高信賴度,易於保養(yǎng)維護(hù)。
二:設(shè)計(jì)概念:

採(cǎi)用最簡(jiǎn)化即是最佳化(Simple Is The Best)設(shè)計(jì)理念。針對(duì)以下問題點(diǎn)做全面考量:
• 腔體尺寸
• 機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)
• 抽氣系統(tǒng)設(shè)計(jì)
• 靶材更換便利性
• 設(shè)備維護(hù)保養(yǎng)
• 鍍膜品質(zhì)需求
• 軟體功能設(shè)計(jì)
• 生產(chǎn)效率
三:系統(tǒng)特色
• 腔體採(cǎi)用模組化設(shè)計(jì),易於搬運(yùn)及組合,機(jī)構(gòu)易調(diào)校
• 自動(dòng)送料、收料系統(tǒng)
• 多靶濺射,生產(chǎn)速度快
• 軟硬體高度整合以減少人為操作錯(cuò)誤的可能性
• 圖形化操作介面,易學(xué)易操作,動(dòng)態(tài)顯示設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)現(xiàn)狀
• 控制電路板佔(zhàn)用空間小,設(shè)計(jì)上易維修與查線
• 附換靶臺(tái)車,省力方便。
四:系統(tǒng)組態(tài)及系統(tǒng)規(guī)格
4.1系統(tǒng)組態(tài):

項(xiàng)目 名稱 規(guī)格型號(hào) 數(shù)量 備註
1 真空腔膛

三腔式不銹鋼SUS304

 

 
2 磁控濺射陰極 5”×22”   8  
3 直流濺射電源 8KW(ADL) 8

德國(guó)

4 機(jī)械真空泵 ULVACVDN-902 1  
5 高真空分子泵 KY-400分子泵 3

或冷凍泵CTI 10F 

6 高真空冷凍壓縮機(jī) 9600 3  
7 機(jī)械真空泵+Booster ULVAC VDN-902+NB600    
8 軸封 採(cǎi)用磁性流體斷真空

5

 
9 大門閥  10” 3  
10 高低真空計(jì)    美國(guó)G.P 共4    
11 Throttle Valve 蝶形  1  
12 自動(dòng)GAB流量控制  Ar  1  
13 PLC觸控系統(tǒng)   1  
14 料盤

625mm x 525mm

20片    
15 換靶臺(tái)車   1臺(tái)  

4.2系統(tǒng)規(guī)格及技術(shù)指標(biāo):
 1. 控制系統(tǒng);
  採(cǎi)用三菱PLC自動(dòng)控制+人機(jī)介面
 2.腔體Chamber
 材質(zhì):SUS304不銹鋼材質(zhì)外加Water Jacket出料區(qū)、進(jìn)料區(qū)大門材質(zhì)為鋁合金
 3.電漿源與靶材
 電漿源:磁控濺射源x 8、水冷式〈上方四靶,下方四靶〉靶材尺寸:5”x 22”x 1/2”Target
固定方式:Clamp type 
4.DC電源供應(yīng)器
 MAX 8 KW水冷式

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